Проводит фотолитографические операции по совмещению элементов рисунка топологии схемы на пластине с соответствующими элементами на фотошаблоне с точностью +/- 5 мкм на установках совмещения и экспонирования.
Выполняет сушкупластин в термостате.
Выполняет экспонирование, проявление и задубливание фотослоя, по заданным в технологии режимам.